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外側の面取り機

外側の面取りマシンは、ウェーハ材料を用意する正確なエッジを供給し、滑らかで斜めのエッジを作成しながら、マイクロ{-亀裂と鋭いエッジを排除します。

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機能

応用

外側の面取り機マイクロ-亀裂と鋭いエッジを排除しながら、滑らかで斜めのエッジを作成し、滑らかで斜めのエッジを作成し、正確なエッジを供給します。シリコン、サファイア、SIC、GAASを含む150-200mm（6-8 "）ウェーハと互換性があるこの専門の機器は、半導体製造に優れたエッジ品質を保証します。

weg200 - 2p-faアウターチャンファリングマシン

モデル番号			weg200 - 2p-fa
面取り方法			ダイヤモンドを組み合わせた形成研磨粉砕ホイールを使用して、カットウェーハを磨き、磨きます
ベアリングテーブルのメインシャフト		番号	1
		速度範囲（rpm）	60-1000
粉砕ホイールシャフト		番号	2
		速度範囲（rpm）	1000-40000
ウェーハサイズ			4 '、6インチ'、8インチ '
処理精度	直径の耐性		±10um
	振幅（A1、A2）偏差		30um以下
	クリスタルの丸み		±10um
	of precision		±0.1度
	ノッチの深さの精度		±5um
	厚さ測定の再現性の精度		±2um
機器構造			ダブルワークステーション